激光诱导刻蚀制作TGV流程

TGV 工艺主要分为成孔和填孔两大核心环节。对于成孔技术而言，由于玻璃材料的硬度和脆性较大，制约玻璃基板技术大规模应用的主要困难之一就是 TGV 成孔技术。其需要满足高速、高精度、窄节距、侧壁光滑、垂直度好以及低成本等一系列要求，且无法在 TSV 技术的基础上进行更新。目前业界研发了多种成孔方法解决该难题，例如喷砂法、光敏玻璃法、聚焦放电法、等离子体刻蚀法。其中激光诱导刻蚀优势明显，也是目前商业使用最为广泛的方法。其优势在于：利用激光诱导刻蚀得到成孔质量均匀，一致性好；同时成孔速度快，形貌可调。