如何提高蓝宝石金属化的附着力?
提高附着力是一个系统工程,关键步骤包括:
1) 使用氩氧等离子体进行深度表面清洁与活化;
2) 沉积钛(Ti)或铬(Cr)作为粘附过渡层;
3) 精确控制磁控溅射的工艺参数以降低薄膜内应力;
4) 必要时进行真空退火处理以强化界面结合。
提高附着力是一个系统工程,关键步骤包括:
1) 使用氩氧等离子体进行深度表面清洁与活化;
2) 沉积钛(Ti)或铬(Cr)作为粘附过渡层;
3) 精确控制磁控溅射的工艺参数以降低薄膜内应力;
4) 必要时进行真空退火处理以强化界面结合。