光学镀膜工艺之高频感应加热蒸发镀膜

高频感应加热蒸发镀膜是利用高频电磁场在导电的镀料中感应产生的涡流来直接加热镀料。通常是将镀料置于绝缘的坩埚内,外侧用水冷铜管绕成的高频线圈进行加热,通过调节高频电流的大小来改变加热功率，高频电流的频率根据镀料的不同在10~100kHz之间变化。

高频感应加热蒸发镀膜的主要特点是可以采用较大的坩埚,一次存放大量的镀料,蒸发效率较高,可以连续和较大规模镀膜。由于涡流直接作用于镀料上,坩埚温度较低,因此坩埚材料对膜层的污染很小，可以制备高纯度薄膜。

该方法也可以将不导电的镀料置于导电的坩埚内间接加热。