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承载晶圆
技术规格 参数 玻璃晶圆片规格 材料 玻璃、石英等 外径 4”、6”、8”、12”等 外径公差 +/-0.01mm 最小厚度 0.2mm(<6”)、0.3mm(8”)、0.35mm(12”) TTV <1μm BOW <20μm WARP <30μm 外观 20-10 粗糙度 Ra<0.2nm 倒边 45°，C0.2+/-0.1mm 镀膜 增透膜、反射膜、分光膜等 * 备注：可以根据客户需求定制
技术规格 参数 玻璃晶圆片规格 材料 玻璃、石英等 外径 4”、6”、8”、12”等 外径公差 +/-0.01mm 最小厚度 0.2mm(<6”)、0.3mm(8”)、0.35mm(12”) TTV <1μm BOW <20μm WARP <30μm 外观 20-10 粗糙度 Ra<0.2nm 倒边 45°，C0.2+/-0.1mm 镀膜 增透膜、反射膜、分光膜等 * 备注：可以根据客户需求定制