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半导体设备气密视窗国产化,玻璃金属化是绕不开的使能工序
九月的半导体核心部件产业大会把一句话说得很直白:国产替代的下半场,较量已经从整机能不能造出来,转移到了腔体、密封法兰、匀气组件这些精密零部件能不能稳定量产、可靠上机。我看了会场复盘,一个挺典型的细节是,刻蚀和薄膜沉积设备的观察窗、馈通件长期被海外企业把着,本土配套能力过去一直是短板。这背后真正卡住的环节,常常落在玻璃和金属怎么严丝合缝地连在一起。 把镜头拉近到那个小小的视窗上。半导体设备里的石英、特种玻璃视窗要扛住超高真空、高温和等离子腐蚀,还要和金属法兰形成气密连接。可玻璃天生不和金属握手,直…
